Spis tresci zeszytu Elektronika nr 10/2020
LED GAN-ON-SI W GRENOBLE DO 2022 r.......2
TOP INDUSTRY SUMMIT 2020.......2
SUPERKOMPUTER W UKSW.......3
WŁAŚCIWOŚCI TERMOELEKTRYCZNE CIENKICH WARSTW TLENKÓW
MIEDZI WYTWORZONYCH METODĄ ROZPYLANIA MAGNETRONOWEGO
(Thermoelectric properties of copper oxides thin films deposited
by magnetron sputtering method)
E. MAŃKOWSKA, A. LUBAŃSKA, D. KACZMAREK..........4
Streszczenie
NW niniejszej pracy przedstawiono wyniki badań właściwości
termoelektrycznych cienkich warstw tlenków miedzi (CuxO). Metodą
rozpylania magnetronowego wytworzono powłokę cienkowarstwową
składającą się z krystalitów metalicznej miedzi oraz
Cu2O. Wygrzewanie poprocesowe w temperaturach 200°C, 300°C
i 350°C spowodowało zmiany składu fazowego powłoki. Rezystywność
cienkiej warstwy CuxO tuż po naniesieniu wynosiła
1,9·10-4 Ωcm, natomiast powłoki wygrzanej w temperaturze 200°C
wynosiła 3,2 Ωcm. Dalszy wzrost temperatury wygrzewania powodował
spadek wartości rezystywności. Na podstawie pomiarów
współczynnika Seebecka stwierdzono, że wszystkie wytworzone
warstwy charakteryzowały się dziurowym typem przewodnictwa.
SŁOWA KLUCZOWE:tlenki miedzi, CuxO, cienkie warstwy, termiczna
obróbka poprocesowa
ABSTRACT
This paper provides the results of research on the thermoelectric
properties of copper oxides (CuxO) thin films. Produced by magnetron
sputtering method CuxO thin film consists of metallic copper
and Cu2O crystallites. Post-process annealing at 200°C, 300°C and
350°C resulted in the modification of coating phase composition.
The resistivity of the as-deposited CuxO thin film was equal to
1.9·10-4 Ωcm, while the resistivity thin film annealed at 200°C was
equal to 3.2 Ωcm. A further increase in the annealing temperature resulted
in a decrease of resistivity value. Based on Seebeck coefficient
measurements, it was found that all coatings were characterized by
p-type conductivity.
KEYWORDS:copper oxides, CuxO, thin films, magnetron
sputtering, post-process annealing
WŁAŚCIWOŚCI ELEKTROSTATYCZNE CIENKICH WARSTW TLENKÓW
NA BAZIE KOBALTU I WOLFRAMU
(Electrostatic properties of thin film oxides based on the cobalt and tungsten)
B. GAWĘDA, P. POKORA, A. OBSTARCZYK..........7
Streszczenie
CW pracy przedstawiono wyniki badań i analizy wpływu składu
materiałowego spiekanych targetów wytworzonych metodą SPS
(ang. Spark Plasma Sintering), z których zostały naniesione powłoki,
na ich właściwości antystatyczne. Cienkie warstwy zostały wytworzone
za pomocą metody rozpylania magnetronowego. Pomiary
oraz analizę przeprowadzono dla sześciu różnych próbek. Trzy
z nich wytworzono ze spiekanych targetów Ti:Co o składzie materiałowym
95:5, 85:15 i 50:50. Z kolei pozostałe trzy uzyskane były
z targetów na bazie Ti:W o takim samym składzie materiałowym jak
warstwy z kobaltem. Analiza wyników badań wykazała, że spośród
wielu zmierzonych próbek, tylko dwie były antystatyczne, gdyż dla
kryterium 10% miały czasy rozpraszania ładunku statycznego na
powierzchni krótsze niż 2 s. Były to cienkie warstwy wytworzone
ze spiekanych targetów na bazie tlenków Ti-W o składzie materiałowym
(Ti0,5W0,5)Ox oraz (Ti0,85W0,15)Ox.
SŁOWA KLUCZOWE:cienkie warstwy, tlenek kobaltu,
tlenek wolframu, rozpylanie magnetronowe, właściwości
elektrostatyczne
ABSTRACT
This paper provides research investigation results and analysis of
influence of the material composition of sintered targets produced
by the Spark Plasma Sintering (SPS) method , from which the thin
layers were applied, on their antistatic properties. The thin layers were
deposited by the magnetron sputtering method. Measurements and
analysis were performed on six different coatings. Three of them
were made of sintered Ti:Co targets with a material composition of
95: 5, 85:15 and 50:50. In turn, the remaining three were obtained
from Ti:W based targets with the same material composition as the
layers with the cobalt. The analysis of the research results showed
that among many measured samples, only two were antistatic, because
for the 10% criterion, the static charge dissipation times on the
layer surface were shorter than 2 s. These were thin layers made of
sintered targets based on Ti-W oxides with the material composition
(Ti0,5W0,5) Ox and (Ti0,85 W0,15) Ox.
KEYWORDS:thin films, cobalt oxide, tungsten oxide, magnetron
sputtering, electrostatic properties
WYBRANE WŁAŚCIWOŚCI CIENKICH WARSTW TLENKÓW WOLFRAMU
WYTWARZANYCH PRZY RÓŻNYCH WARUNKACH PROCESU ROZPYLANIA
MAGNETRONOWEGO
(Analysis of the selected properties of tungsten oxide thin films
deposited by magnetron sputtering in various technological parameters)
A. LUBAŃSKA, E. MAŃKOWSKA, M. MAZUR..........10
Streszczenie
W pracy przedstawiono wyniki badań i analizy właściwości cienkich
warstw tlenków wolframu wytworzonych metodą rozpylania
magnetronowego. Proces wytwarzania przeprowadzono przy
zmiennych warunkach technologicznych, takich jak proporcja
mieszaniny gazów O2:Ar oraz odległość target-podłoże. Zwiększenie
przepływu argonu w mieszaninie gazów O2:Ar podczas
procesu spowodowało zmianę właściwości elektrycznych cienkich
warstw z dielektrycznych na półprzewodnikowe. Ponadto,
wyniki pomiarów współczynnika transmisji światła wykazały, że
wraz ze wzrostem przepływu argonu przezroczystość warstw ulega
pogorszeniu. Mniejsze odległości target-podłoże skutkowały
zwiększeniem szybkości nanoszenia warstw. Wszystkie naniesione
warstwy charakteryzowały się małą chropowatością oraz
właściwościami hydrofilowymi powierzchni.
.
SŁOWA KLUCZOWE:tlenek wolframu, cienkie warstwy, rozpylanie
magnetronowe, właściwości optyczne i elektryczne
ABSTRACT
The aim of the presented work is investigation of the properties
of tungsten oxide thin films deposited by magnetron sputtering.
The process was performed with use of various technological
properties such as O2:Ar gas mixture ratios and target-substrate
distance. Increase of argon content in O2:Ar gas mixture during
process caused change of electrical properties of thin films
from dielectric to semiconducting. Moreover, measurements
of light transmission coefficient showed that thin layer transparency
decreased with increase of argon content. Decrease of
target-substrate distance resulted in an increase of deposition
rate. All deposited thin films had low roughness and hydrophilic
properties.
KEYWORDS:tungsten oxide, thin films, magnetron sputtering,
optical and electrical properties
WŁAŚCIWOŚCI OPTYCZNE I ELEKTRYCZNE POWŁOK (TiCo)OX O RÓŻNYM
SKŁADZIE MATERIAŁOWYM, WYTWARZANYCH METODĄ ROZPYLANIA
MAGNETRONOWEGO
(Optical and electrical properties of (TiCo)Ox coatings with various
material composition, prepared by magnetron sputtering)
P. POKORA, B. GAWĘDA, D. WOJCIESZAK..........13
Streszczenie
Wne oraz elektryczne cienkich warstw na bazie dwutlenku tytanu
w powiązaniu z ich składem oraz strukturą. Powłoki otrzymano
rozpylając targety Ti-Co o różnej zawartości tytanu i kobaltu wynoszącej:
1) 95% at. Ti oraz 5% at. Co, 2) 85% at. Ti oraz 15% at.
Co, 3) 50% at. Ti oraz 50% at. Co. Analiza właściwości optycznych
powłok tlenkowych, pokazała, że charakteryzowały się one dużą
przeźroczystością tj. 59% ÷ 78%. Położenie krawędzi optycznej
absorpcji lcutoff rosło z 279 nm do 289 nm wraz ze wzrostem
ilości Co w targecie. Optyczna przerwa energetyczna dla cienkich
warstw była w zakresie od 3,13 eV do 1,93 eV. Analiza właściwości
elektrycznych pokazała, że rezystywność powłok była na poziomie
108 Ω·cm.
.
SŁOWA KLUCZOWE:powłoka optyczna, transparentna elektronika,
(TiCo)Ox, cienka warstwa, rozpylanie magnetronowe
ABSTRACT
The aim concern the influence of cobalt on selected optical and
electrical properties of thin films based on titanium dioxide in relation
to their composition and structure. The coatings were obtained by
sputtering Ti-Co targets with different titanium and cobalt content,
equal to: 1) 95% at. Ti and 5% at. Co, 2) 85% at. Ti and 15% at. Co, 3)
50% at. Ti and 50% at. Co. The analysis of optical properties of oxide
coatings showed that they were characterized by high transparency,
i.e. 59% ÷ 78%. The position of the optical absorption edge increased
from 279 nm to 289 nm as the amount of Co in the target increased.
The optical gap for thin films ranged from 3.13 eV to 1.93 eV. The
analysis of the electrical properties showed that the resistivity of the
coatings was at the level of 108 Ω·cm.
KEYWORDS:power engineering, safety automation, distance
protection, short circuits
IQRF – STANDARD SIECI BEZPRZEWODOWEJ DLA INTERNETU RZECZY
(IQRF – wireless network standard for the Internet of Things)
P. CHODASEWICZ, J. DOMARADZKI, A. WIATROWSKI..........17
Streszczenie
W niniejszej pracy omówiono zagadnienia związane z rozwojem
nowych standardów komunikacyjnych sieci bezprzewodowych,
przeznaczonych dla potrzeb Internetu Rzeczy. W szczególności,
w pracy zaprezentowany został standard IQRF jako
przykład standardu, który umożliwia budowę prototypowych sieci
bezprzewodowych w stosunkowo prosty sposób. Artykuł zawiera
krótki przegląd możliwości technologii IQRF oraz proste przykłady
implementacji tego standardu.
.
SŁOWA KLUCZOWE:Internet Rzeczy, sieci bezprzewodowe,
standard komunikacji
ABSTRACT
In the present work, the issues related to the development of new
wireless communication standards intended for the Internet of
Things are discussed. In particular, the IQRF standard has been
presented as an example of standard which allows on construction
of prototype wireless networks in a relatively simple manner. The
paper contains a short review of IQRF technology and some simple
examples of the implementation of this standard.
KEYWORDS:Internet of Things, wireless networks, communication
standard
KRIOMODUŁY W AKCELERATORACH CZĄSTEK NAŁADOWANYCH
(Cryomodules in charged particle accelerators)
J. SOSNOWSKI, P. KRAWCZYK.................22
STRESZCZENIE
W artykule przybliżono problematykę kriomodułów, urządzeń stosowanych
w akceleratorach cząstek naładowanych. Podkreślono
znaczenie wykorzystania materiałów nadprzewodnikowych
w ich konstrukcji i zalety takich rozwiązań. Usystematyzowano
specyfikę występujących tu zagadnień i wskazano przykłady
zastosowania.
SŁOWA KLUCZOWE:akceleratory, kriomoduły, nadprzewodnictwo,
wiązki elektronowe
ABSTRACT
The article presents the subject of cryomodules, devices employed
in charged particle accelerators. The authors emphasize
the importance of using superconducting materials in the construction
of cryomodules and the advantages of such a solution.
A systematic approach to the specific problems is presented and
supported by the examples of application.
KEYWORDS:accelerators, cryomodules, superconductivity,
electron beams
WYKORZYSTANIE WARTOŚCI WŁASNYCH MACIERZY IMPEDANCJI
FALOWYCH DO WYZNACZANIA PARAMETRÓW CYRKULATORÓW
FERRYTOWYCH
(Utilization eigenvalues of wave impedance matrix to designate
of parameters ferrite circulators)
E. SĘDEK..........27
STRESZCZENIE
Metoda przedstawiona poniżej została opracowana dla cyrkulatorów
paskowych i mikropaskowych z wielostopniowymi transformatorami
dopasowującymi, przy czym transformator może zawierać
czwórniki mikrofalowe zbudowane z liniowych elementów
biernych. W stosowanych dotychczas metodach projektowania
cyrkulatorów transformator dopasowujący był uwzględniany dla
warunków brzegowych dla składowych stycznych pól E i H na kolejnych
nieciągłościach ferryt-dielektryk, dielektryk-dielektryk itd.[2].
Stosowano również metodę obliczeń, opartą na grafie przepływu
cyrkulatora [3]. Zarówno w jednym, jak i drugim przypadku występuje
znaczna komplikacja zależności opisujących parametry
cyrkulatora już dla jednostopniowego transformatora, przy czym
komplikacja ta szybko się powiększa dla transformatorów wielostopniowych.
Proponowana w tym opracowaniu metoda obejmuje
znacznie szerszą grupę układów dopasowujących, przy czym ich
liczba praktycznie nie komplikuje zależności końcowych opisujących
parametry cyrkulatora. Przedstawiona metoda jest oparta na
transformacji wartości własnych macierzy impedancji falowych.
SŁOWA KLUCZOWE:macierz impedancji falowej, macierz
rozproszenia, wartości własne macierzy, reflektancja, izolacja,
tłumienie przepustowe
ABSTRACT
The method presented below has been developed for strip and microstrip
circulators with multi-stage matching transformers, and the
transformer may contain microwave two ports made of linear passive
elements. In the circulator design methods used so far, the matching
transformer was taken into account for the boundary conditions
for the tangent components of the E and H fields on successive
ferrite-dielectric discontinuities, dielectric-dielectric discontinuities,
etc. The calculation method based on the circulator flow graph was
also used. In both cases, there is a significant complication of the
relationships describing the parameters of the circulator already for
a single-stage transformer, and this complication increases rapidly
for multi-stage transformers. The method proposed in this paper
covers a much wider range of matching circuits, with the number
of practically no complicated depending on the final parameters
that describe the circulator. The presented method is based on the
transformation of the eigenvalues of the wave impedance matrix.
KEYWORDS:wave impedance matrix, scattering matrix, matrix
eigen values, reflactance, isolation,, insertion loss